薄膜體積和表面電阻率測試儀

薄膜體積和表面電阻率測試儀  采用了美國Intel公司的大規模集成電路,使儀器體積小、重量輕、準確度高。以雙3.1/2 位數字直接顯示電阻的高阻計和電流。量限從1×104Ω ～1×1018 Ω，是目前國內測量范圍 寬，準確度 高的數字超高阻測量?jì)x。電流測量范圍為2×10-4 ～1×10-16Ａ。機內測試電壓為10/50/100/250/500/1000V任意可調。本儀器具有精度高、顯示迅速、性好穩定、讀數方便， 適用于防靜電產(chǎn)品如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計算機房防靜電活動(dòng)地板等電阻值的檢驗以及絕緣材料和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測量

薄膜體積和表面電阻率測試儀   技術(shù)指標

1,電阻測量范圍： 0.01×104Ω ～1×1018Ω。

2,電流測量范圍為： 2×10-4A～1×10-16A

3,顯 示 方 式：數字液晶顯示

4,內置測試電壓： 10V ,50V,100V,250,500,1000V

5,基本準確度：1% (*注)

6,使用環(huán)境： 溫度：0℃～40℃,相對濕度<80%

7,機內測試電壓： 10V/50V/100/250/500/1000V 任意切換

8,供電形式： AC 220V,50HZ,功耗約5W

9,儀器尺寸： 285ｍｍ× 245ｍｍ× 120 mm

10,質(zhì)量： 約5KG

使用條件

①環(huán)境溫度： 0～40℃

②相對溫度：≤70%

③供電電流：交流 220V±10%50Hz

標準配置：

 1、儀器主機 一臺

 2、屏蔽箱一個(gè)

 3、試驗電極三個(gè)

 4、說(shuō)明書(shū)一本

 5、電源線(xiàn)一條

 6、數據線(xiàn)三條

 7、合格證一份

 8、保修卡一份

使用方法

1接好電源線(xiàn)

確保電源為220VAC/50Hz

2接通電源

   將電流電阻量程置于 104 檔,電壓量程置于10V，然后開(kāi)機。

3調零

在“Rx”兩端開(kāi)路的情況下,調零使電流表的顯示為0000 .注意：在“Rx”兩端不開(kāi)路，如接在電阻箱或被測量物體上時(shí)調零后測量會(huì )產(chǎn)生很大的誤差。一般一次調零后在測試過(guò)程中不需再調零。 完畢后關(guān)機。

4連接線(xiàn)路

    接好測試線(xiàn)，將測試線(xiàn)將主機與屏蔽箱連接好，測體積電阻時(shí)測試按鈕撥到Rv邊，測表面電阻時(shí)測試按鈕撥到Rs邊。然后開(kāi)機。

5選擇合適的測量電壓

★電壓選擇開(kāi)關(guān)在后面板，注意，在測試過(guò)程中不要隨意改動(dòng)測量電壓，可能因電壓的過(guò)高或電流過(guò)大損壞被測試器件或測試儀器;

6測試

測量時(shí)從低檔位逐漸拔往高檔，每撥一次稍停留1～2秒以使觀(guān)察顯示數字， 當被測電阻大于儀器測量量程時(shí)，電阻表顯示“1”，此時(shí)應繼續將儀器撥到量程更高的位置，當測量?jì)x器有顯示值時(shí)應停下，當前的數字乘以檔次即是被測電阻值。當有顯示數字時(shí)不要再往更高次檔撥，否測儀器會(huì )過(guò)量程，機內保護電路開(kāi)始工作，儀器測量準確度會(huì )下降。

7 測試完畢將電阻電流量程拔至“104 ”檔，電壓量程調至10V后關(guān)閉電源

★每測量一次均應將量程開(kāi)關(guān)撥回到104“調零”檔的量程位置以免開(kāi)機或測量端短路時(shí)而損壞儀器。

8 測量電流及1015Ω以上超高電阻的測量應用測量電流后用歐姆定律以電壓除以電流計算電阻的方法，詳見(jiàn)8.5節內容。

9 體積電阻和表面電阻轉換

★在測試過(guò)程中，使用屏蔽箱在進(jìn)行體積電阻和表面電阻轉換時(shí)，必須把電源關(guān)閉后進(jìn)行檔位轉換，否則會(huì )導致電壓沖擊到主機無(wú)法顯示或損壞。

三電極接線(xiàn)說(shuō)明

    測量電阻可用二電極，一個(gè)接高壓電極，另一個(gè)接電流電極就行了，儀器的地線(xiàn)用于屏蔽用，在測量高電阻時(shí)要與屏蔽箱的地相接以防干擾。測量低電阻時(shí) 可以不用。國家標準 GB1410《 固體絕緣材料絕緣體積電阻率和表面電阻率試驗方 法》中推薦一種三電極測量方法：

它是由三個(gè)獨立的電極組成:

1.中心為圓柱體,直徑為50mm, 標準中沒(méi)有規定高度，但一般是40mm

2.圓柱體外為一圓環(huán),圓環(huán)內徑為60mm,外徑為80mm, 標準中沒(méi)有規定高度，但一般是40mm

3.底為一平板, 直徑為100mm的圓板. 標準中沒(méi)有規定厚度，但一般為5mm

如果使用這種三電極測量材料表面電阻或體積電阻，可以按下圖接線(xiàn)：

4.測表面電阻：（電流流過(guò)被測量物體表面時(shí)測得的電阻）

儀器高壓輸出（紅）接圓環(huán)電極

儀器電流輸入端（芯線(xiàn)）接圓柱電極

儀器地（黑，屏蔽線(xiàn)）接圓盤(pán)電極

5.測體積電阻：（電流流過(guò)被測量物體體內時(shí)測得的電阻）

儀器高壓輸出（紅）接圓盤(pán)電極

儀器電流輸入端（芯線(xiàn)）接圓柱電極

儀器地（黑，屏蔽線(xiàn)）接圓環(huán)電極

    請將被測量材料放在圓盤(pán)電極上面，并且圓柱電極放在圓環(huán)電極的中間，先將屏蔽箱上的開(kāi)關(guān)撥在中間0位置時(shí)，此時(shí)沒(méi)有高壓輸出，將屏蔽箱蓋好，然后再與儀器接線(xiàn)。

    如果開(kāi)關(guān)是在左邊的Rv位置時(shí)，測量的是體積電阻Rv，此時(shí)電壓加在底下的圓盤(pán)電極上，電流從圓盤(pán)電極經(jīng)被測量材料體內流到柱電極。

    如果開(kāi)關(guān)是在右邊的Rs位置時(shí)，測量的是表面電阻Rs，此時(shí)圓環(huán)電極改變?yōu)殡妷?，圓盤(pán)電極為接線(xiàn)，電流從圓環(huán)電極經(jīng)材料表面流到圓柱電極。

儀器測量常見(jiàn)問(wèn)題

1 為什么在測量同一物體時(shí)用不同的電阻量程有不同的讀數？

    這是因為測量電阻時(shí)為防止過(guò)電壓損壞儀器，如果出現過(guò)量程時(shí)儀器內保護電路開(kāi)始工作，將測試電壓降下來(lái)以保護機內放大器。在不同的電壓下測量同一物體會(huì )有不同的結果。而且當測量電阻時(shí)若讀數小于199，既只為三位數且di一位數為1 時(shí)，其準確度要下降。所以在測量電阻時(shí)當di一次讀數從1 變?yōu)槟骋蛔x數時(shí)，不應再往更高的量程扭開(kāi)關(guān)以防對儀器造成過(guò)大的電流沖擊。在實(shí)際使用時(shí)，即讀數位數多的比讀數位數少的準確度高。

2為什么測量一些物體的電流時(shí)用不同的量程也會(huì )出現測出結果相差較大？

    這是因為一般物體輸出的電流不是恒定流，而儀器有一定內阻，若在儀器上所選量程的內阻過(guò)大以至于在儀器上的電壓降影響被測物體的輸出電流時(shí)會(huì )造成測量誤差。一般電流越小的量程內阻越高，所以在測量電流時(shí)應選用電流大的量程。在實(shí)際使用時(shí)即只要電流表有讀數時(shí)，讀數位數少的小的比讀數位數多的準確度高。

3為什么測量時(shí)儀器的讀數總是不穩？

    一般的材料其導電性不是嚴格像標準電阻樣在一定的電壓下有很穩定的電流，有很多材料特別是防靜電材料其導電性不符合歐姆定律，所以在測量時(shí)其讀數不穩。

    這不是儀器的問(wèn)題，而是被測量物體的性能決定的。有的標準規定以測量1分鐘時(shí)間的讀數為準。通常在測量高電阻或微電流時(shí)測量準確度因重復性不好，對測量讀數只要求2位或3位。另外在測量大電阻時(shí)如果屏蔽不好也會(huì )因外界的電磁信號對儀器測量結果造成讀數不穩。

4為什么測量完畢時(shí)一定要將量程開(kāi)關(guān)再撥到104檔后才能關(guān)電源？

    這是因為在測量時(shí)被測物體及儀器輸入端都有一定的電容，這個(gè)電容在測量時(shí)已被充電到測量電時(shí)的電壓值，如果儀器不撥到104擋后關(guān)電源這個(gè)充電后的電容器會(huì )對儀器內的放大器放電而造成儀器損壞。當被測量物體電容越大，測試電壓越高時(shí)，電容器所儲藏的電能越大，更容易損壞儀器，特別是在電阻的高量程或電流的低量程時(shí)因儀器非常靈敏，儀器過(guò)載而損壞的可能性更大。所以一定要將量程開(kāi)關(guān)再撥到104擋后才能關(guān)電源。

5 為什么在測量電阻過(guò)程中不要改變對被測物的測試電壓？

    在測量電阻過(guò)程中如果改變對被測物的測試電壓，無(wú)論電壓變高或變低時(shí)都將會(huì )產(chǎn)生大脈沖電流，這個(gè)大的電流很有可能使儀器過(guò)量程甚至更損壞儀器。另一方面如果電壓突然變化也會(huì )通過(guò)被測量物體的（分布）電容放電或反向放電對測量?jì)x器造成沖擊而損壞儀器。有的物體的耐壓較低，當您改變測量電壓時(shí)有右能擊穿而產(chǎn)生大電流損壞儀器。如果要改變測量電壓，在確保被測量物體不會(huì )因電壓過(guò)高擊穿時(shí)，要先將量程開(kāi)關(guān)撥到104檔后關(guān)閉電源，再從儀器后面板調整到所要求的電壓。有的材料是非線(xiàn)性的，即電壓與電流是不符合歐姆定律，有改變電壓時(shí)由于電流不是線(xiàn)性變化，所以測量的電阻也會(huì )變化。

6為什么測量完畢要將電壓量程開(kāi)關(guān)再撥到10V檔后關(guān)閉電源？

    這是因為機內的電容器充有很高的電壓（zui高電壓達1200V以上），這些電容器的所帶的電能保持較長(cháng)的時(shí)間，如果將電壓量程開(kāi)關(guān)再撥到10V檔后關(guān)閉電源，則會(huì )將機內的高壓電容器很快放電，不會(huì )在測量的高壓端留有很危險的電壓造成電擊。如果僅撥電源線(xiàn)而不是將電壓調至10V檔，雖然斷了電源，但機內高壓電容器還有會(huì )因長(cháng)時(shí)間保持很高的電壓，將會(huì )對人員或其它物體造成電擊或損壞。在儀器有問(wèn)題時(shí)也不要隨便打開(kāi)機箱因機內高壓造成電擊，要將儀器找專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員或寄回廠(chǎng)家修理。

報告

報告應至少包括下述情況：

a) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）關(guān)于材料的說(shuō)明和標志（名稱(chēng)、等級、顏色、制造商等）；

b) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）試樣的形狀和尺寸；

c) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）電極和保護裝置的形式、材料和尺寸；

d) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）試樣的處理（清潔、預干燥、處理時(shí)間、濕度和溫度）等；

e) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）試驗條件（試樣溫度、相對由度）；

f) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）測量方法；

g) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）施加電壓；

h) 電阻率測試儀（電阻率測定儀）體和、電阻率（需要時(shí)）；

注1：當規定了一個(gè)固定的電化時(shí)間時(shí)，注明此時(shí)間，給出個(gè)別值，并報告中值作為體積電阻率。

注 2 ： 當在不同的電化時(shí)間后測試時(shí)，應按如下要求報告：

當在相同的電化時(shí)間里試樣達到一個(gè)穩定狀態(tài)肘，給出個(gè)別值，并報告中值作為體積電阻率。 在這個(gè)電化時(shí) 間里有某些試樣不能達到穩定狀態(tài)，則報告不能達到穩定狀態(tài)的試樣數，并分別地給出它們的結果。 當測試結果取決于電化時(shí)間時(shí)，則報告它們之間的關(guān)系，例如．以圖的形式或給出在電化Imin、10min和100min后的體積電阻率的中值。

i) 表面電阻率（需要時(shí)）：

給出電化時(shí)間為1 min的個(gè)別值，并報告其中值作為表面電阻率

關(guān)于儀器質(zhì)保：1、北廣儀器保證提供的設備為需方的全新設備，其各項技術(shù)指標均符合相關(guān)的產(chǎn)品技術(shù)要求。2、設備經(jīng)客戶(hù)驗收合格后，開(kāi)始計算保修期，設備免費保修期為壹年，設備在質(zhì)量保質(zhì)期內，產(chǎn)品在非人為損壞的情況下，由北廣儀器負責全保。北廣儀器的客服在得到通知后24小時(shí)內響應，安排約定維修細節。3、質(zhì)保期后，我們免費為您維修維護設備，除大型設備外所有設備一律返廠(chǎng)維修，經(jīng)檢驗后，告知客戶(hù)問(wèn)題所在及解決方式，經(jīng)客戶(hù)同意后進(jìn)行維修，維修后發(fā)回客戶(hù)，對于損壞及更換的零部件我們只收取成本費；如客戶(hù)不認同我們的檢驗結果，雙方另協(xié)商維修細節。

關(guān)于儀器返廠(chǎng)維修：1、維修維護全面 ：設備損壞后，使用者往往對設備損壞情況描述不清、不全面，經(jīng)常會(huì )出現技術(shù)人員到達現場(chǎng)之后，發(fā)現工具不全或者零配件需要更換卻沒(méi)有提前準備零配件，常常會(huì )造成被動(dòng)或者維修遲緩的局面，耽誤客戶(hù)使用。設備返廠(chǎng)維修，廠(chǎng)內零配件及工具齊全，技術(shù)人員在維修設備同時(shí)，按照公司要求會(huì )利用廠(chǎng)內設施為返廠(chǎng)的設備做系統的維護，將一些細微的毛病及早解決。2、響應速度快 ：設備損壞后，我們即使以 快的速度為您安排相關(guān)的技術(shù)人員出差，也要走流程等待技術(shù)部門(mén)安排具體的人員出差，往往需要一定時(shí)間。有時(shí)因為技術(shù)人員連續出差，耽擱在某地，偶爾還會(huì )耽誤與客戶(hù)提前約定好的時(shí)間。 現在物流快遞行業(yè)發(fā)達，全國各地運輸都很快捷方便，返廠(chǎng)維修往往能更省事省力。